Вакуумно покритие – съществуващият метод за нанасяне на кристално покритие
Описание на продукта
Съществуващият метод за покриване на кристали включва: разделяне на голям кристал на средни кристали с еднаква площ, след това подреждане на множество средни кристали и свързване на два съседни средни кристала с лепило; Разделете отново на множество групи от подредени малки кристали с еднаква площ; вземете купчина малки кристали и полирайте периферните страни на множеството малки кристали, за да получите малки кристали с кръгло напречно сечение; Разделяне; вземане на един от малките кристали и нанасяне на защитно лепило върху периферните странични стени на малките кристали; покриване на предната и/или обратната страна на малките кристали; премахване на защитното лепило върху периферните страни на малките кристали, за да се получи крайният продукт.
Съществуващият метод за обработка на кристално покритие трябва да защити периферната странична стена на пластината. За малките вафли е лесно да се замърсят горната и долната повърхност при нанасяне на лепило и операцията не е лесна. Когато предната и задната част на кристала са покрити. След края защитното лепило трябва да се измие и стъпките на операцията са тромави.
Методи
Методът на покриване на кристала включва:
●По протежение на предварително зададения контур на рязане, като се използва лазер за падане от горната повърхност на субстрата, за да се извърши модифицирано рязане вътре в субстрата, за да се получи първият междинен продукт;
●Покриване на горната повърхност и/или долната повърхност на първия междинен продукт за получаване на втори междинен продукт;
●По предварително зададения контур на рязане, горната повърхност на втория междинен продукт се изрязва и изрязва с лазер, а пластината се разцепва, така че да се отдели целевият продукт от остатъчния материал.